CCA- 6(5)型 坩埚喷涂设备

通过机械手,可对坩埚进行氮化硅涂层全自动喷涂,采用丝杆或气动传动进行坩埚自动翻转,五面恒温加热;四面侧板自由调节,可装载不同型号坩埚,采用硅溶胶涂层或水溶氮化硅涂层;可喷涂G6或G5坩埚;坩埚高度范围为420-660mm.