RDS4系列 四锭提纯铸锭炉

RDS4系列四锭提纯铸锭炉分为RDS4.5炉型和RDS4.6炉型。RDS4.5四锭提纯铸锭炉使用G5坩埚,一次装料量可达到1800-2080公斤。单炉产量和年产能均相当于普通使用G5坩埚的单锭炉型的四倍。RDS4.6四锭提纯铸锭炉是上海普罗在RDS4.5炉型基础上,针对G6坩埚开发的新炉型。该炉型目前是世界上具有最大的单炉铸锭产量的炉型。RDS4.6使用G6坩埚,一次装料量可达到2600-3600公斤。单炉产量和年产能均相当于普通使用G6坩埚的单锭炉型的四倍。

RDS4系列采用上海普罗独一无二的提纯工艺,可以在铸锭的同时对硅料进行提纯。这种技术可使得用户在铸锭的时候,回收铸锭的顶皮、边皮料混掺使用,也可混掺纯度较低多晶硅料,并达到与使用100%原生硅料完全一致的晶体质量。因此,该炉型能够大大降低用户的生产成本,为用户提供增值的附加效益。

RDS4系列采用上海普罗专利开发的热场与温度控制工艺,提纯铸锭综合能耗大幅度降低。同时,所铸硅锭长晶质量高,晶柱完整,晶粒平均横向尺寸大于10mm;电阻率均匀且一致,少数载流子寿命可高至10微秒以上,平均可切片率可达72%以上。而独特的热场设计使用户在用相同坩埚时的漏硅率大大降低,减少了生产事故发生率,提高了用户的设备利用时间,降低了生产成本。由于单炉产量大,用户所需的生产车间面积和生产工人人数均比采用同等规格的普通铸锭炉减少一半以上。

RDS4系列炉型能够使用户减少固定资产投资,降低日常生产成本。与国际上同样使用G5G6坩埚的单锭铸锭炉相比,用户能够增加显著的附加值,投资回收期大大缩短。上海普罗的产品和服务能够使多晶硅铸锭用户在光伏这个剧烈变化的产业中,始终保持具有强大的赢利能力和竞争力。

 

 RDS系列多晶硅铸锭炉的技术规格表

序号

项目 Item

规格 Spec.

规格 Spec.

备注 Remarks

1

设备型号model

RDS4.5

RDS4.6

 

2

单炉标称产量 standard cap.

2000kg

3200kg

 

3

单个硅锭重量 wt./ingot

500kg

800kg

高坩埚        

4

单炉年产硅锭数量 qty of ingots/year

≥512/

≥480/

85%开炉率计算

5

单炉最大年产硅锭max qty of ingots/year

604/

564/

100%开炉率计算

6

单炉标称年产量 standard cap/year

256T

≥384T

 

7

单炉最大年产量max cap./year

314T

508T

装料量2080kg计算

8

500MW硅片所需设备台数 sets/100MW

15

10

 

9

硅锭成品规格ingot size

840×840×(≥280)mm

990 x 990 x (≥350)mm

 

10

单次铸锭周期 lead time

≤58h

≤62h

采用6.5N以上多晶硅原料数据,具体数据与硅料纯度有关

 

11

生产硅锭合格率 normal rate

≥98%

≥98%

12

合格硅锭可切片合格率 wafer availability

≥72%

≥72%

13

硅锭导电类型 carrier type

P型或N型均可

P型或N型均可

14

电阻率范围 range of resistivity

1.5 - 3.0Ω·cm

1.5 - 3.0Ω·cm

15

硅块平均裸测少子寿命 life time

4 -20us

4 - 20us

16

去头尾后硅块经红外探伤仪检测无点杂和阴影存在 no spot or shadow under IR spec.

Yes

Yes

17

晶粒尺寸  grain size

≥20mm

≥20mm

18

电耗 unit energy consumption

≤6KWh/kg

≤5KWh/kg

19

工艺气体用量 gas usage/furnace

≤90 m3/炉次

≤90 m3/炉次

 

动力及环境要求 Power and Condition Requirement

1

电源 power supply

三相three-phase AC380V(±15%)50HZ

三相three-phase AC380V(±15%)50HZ

 

2

装机功率 rated power

800KVA(三组加热,单组最大400 KVA

800KVA(三组加热,单组最大400 KVA

 

3

冷却循环水入水温度

cool water temperature

5 ~30℃

5 ~ 30℃

 

4

冷却循环水供应压力 cool water pressure

≥3bar

≥3bar

 

5

冷却循环水单台流量cool water flow

≤800LPM

≤1000LPM

 

6

工艺气体压力 gas pressure

3.5(±0.3)bar

3.5(±0.3)bar

氩气

7

工艺气体流量 gas flow

≤65LPM

≤65LPM

氩气

8

压缩空气进气压力 compr. air  pressure

5 - 8 bar

5 - 8 bar

 

9

设备工作环境(温度)working temperature

-10℃ ~ 40℃

-10℃ ~ 40℃

 

10

设备工作环境(湿度)working humidity

20 – 80 %

20 – 80 %

非冷凝

11

外形尺寸(mmexternal size

9139x5600x5985

9139x5600x5985

≈51