DSC4系列四锭铸锭炉

DSC系列铸锭炉分为DSC4.5炉型和DSC4.6炉型两种,DSC4.5炉型采用传统的G5坩锅,一次装料量可达到1800-2080公斤, DSC4.6炉型采用G6坩埚,使得单炉产量跃升到3200-3600公斤。

DSC系列铸锭炉保留了上海普罗独有的一炉四锭的结构,所以,不仅单产比常规铸锭炉大了四倍,而且使用的坩埚和开方设备均为常规的G5G6系列,用户可以利用现有的开方设备和硅料存取设备。DSC系列铸锭炉采用上海普罗专利开发的热场与温度控制工艺,取消了RDS系列为提纯所用的高抽速真空系统,采用能够满足铸锭需要的真空系统,进一步降低了单位能耗,同时,所铸硅锭长晶质量大大提高,而独特的热场设计使用户在用相同坩埚时的漏硅率大大降低,减少了生产事故发生率,提高了用户的设备利用时间,降低了生产成本。

DSC4.6炉型由于升级采用了G6 坩埚,硅锭的横向尺寸增大了,对热场提出了新的要求,上海普罗为此特地改进了底部热场,尤其是对于在连续降温下保持平面温差最小的方面,进行了大胆的尝试。在氩气流场方面,进行了重新分布,使得铸锭时炉内的氩气流场在保护热场的同时,也能够对防止碳蒸汽对硅的污染和硅中排杂起到正面作用;在长晶工艺上,进一步加速了熔料,调整了成核、长晶、退火的工艺参数,使得晶粒横向尺寸均大于20mm,同等级硅料的少子寿命也大大提高;在冷却阶段,DSC系列比RDS加装了底部速冷装置,使得铸锭容量在增加了一倍的情况下,工艺时间能够保持不变,而使得单位电耗进一步下降到5度以下;值得指出的是,普罗所增加的速冷装置,不仅缩短了生产周期,同时却没有增加成本。该炉型不仅具有能耗低、产量大、易操作和维护量少等优点,经过无数炉的实际测试,其合格硅锭可切片合格率>72%,硅片的转换效率可达16.8%以上,铸锭质量也超出国际同类最高水平。

DSC系列炉型能够使用户的固定资产投资显著降低,而且使用户的日常生产成本也大大降低,同时,可以使用户因铸锭质量提高而带来额外的经济效益。与国际上同样使用单锭炉相比,可以使用户的投资回收期缩短一半以上,使用户始终保持具有强大的赢利能力和竞争力。

 

 

DSC系列多晶硅铸锭炉的技术规格表

序号

项目 Item

DSC4.5规格 Spec.

DSC4.6规格 Spec.

备注 Remarks

1

设备型号model

DSC4.5

DSC4.6

 

2

单炉标称产量 standard cap.

2000kg

3200kg

 

 

单炉最大产量max. cap.

2080kg

3600kg

 

3

单个硅锭重量 wt./ingot

500kg-520kg

800kg-900kg

高坩埚

4

单炉年产硅锭数量 qty of ingots/year

≥512/

≥480/

85%开炉率计算

5

单炉最大年产硅锭max qty of ingots/year

604/

564/

100%开炉率计算

6

单炉标称年产量 standard cap/year

256T

≥384T

 

7

单炉最大年产量max cap./year

314T

508T

装料按最大值计算

8

500MW硅片所需设备台数 sets/100MW

15

10

 

9

硅锭成品规格ingot size

840×840×(≥280)mm

990 x 990 x (≥350)mm

 

10

单次铸锭周期 lead time

≤58h

≤56h -62h

从开炉到开炉

11

生产硅锭合格率 normal rate

≥98%

≥98%

 

12

合格硅锭可切片合格率 wafer availability

≥72%

≥72%

 

13

硅锭导电类型 carrier type

P型或N型均可

P型或N型均可

 

14

电阻率范围 range of resistivity

1.5 - 3.0Ω·cm

1.5 - 3.0Ω·cm

采用6.5N以上多晶硅原料

15

硅块平均裸测少子寿命 life time

4 -20us

4 - 20us

16

去头尾后硅块经红外探伤仪检测无点杂和阴影存在 no spot or shadow under IR spec.

Yes

Yes

17

晶粒尺寸  grain size

≥20mm

≥20mm

 

18

电耗 unit energy consumption

≤6KWh/kg

≤5KWh/kg

 

19

工艺气体用量 gas usage/furnace

≤90 m3/炉次

≤90 m3/炉次

 

动力及环境要求 Power and Condition Requirement

1

电源 power supply

三相three-phase AC380V(±15%)50HZ

三相three-phase AC380V (±15%)50HZ

 

2

装机功率 rated power

800KVA(三组加热,单组最大400 KVA

≥800KVA(三组加热,单组最大400 KVA

 

3

冷却循环水入水温度

cool water temperature

5 ~30℃

5 ~ 30℃

 

4

冷却循环水供应压力 cool water pressure

≥3bar

≥3bar

 

5

冷却循环水单台流量cool water flow

≤800LPM

≤1000LPM

 

6

工艺气体压力 gas pressure

3.5(±0.3)bar

3.5(±0.3)bar

氩气

7

工艺气体流量 gas flow

≤65LPM

≤65LPM

氩气

8

压缩空气进气压力 compr. air  pressure

5 - 8 bar

5 - 8 bar

 

9

设备工作环境(温度)working temperature

-10℃ ~ 40℃

-10℃ ~ 40℃

 

10

设备工作环境(湿度)working humidity

20 – 80 %

20 – 80 %

非冷凝

11

外形尺寸(mmexternal size

7831x5600x5985

7831x5600x5985

≈44